在大部分臭氧污水处理运用中，为了实现甚至超过消毒杀菌或被氧化的残余总体目标，必须检测水里或有机废气中臭氧残余的浓度值，并提高或者减少臭氧产生器的导出。在一些臭氧污水处理运用中，此方法规定处理后的水里的臭氧残余量维持在一定程度下列。
尽管臭氧在污水处理的常见标准下到水里的药物半衰期比较短，但能够持续1-2钟头，假如应该考虑中下游浸蚀或加工工艺环境污染，就需要采取有效措施或降低清除臭氧残余。溶解水里的臭氧有三种基本上方式：紫外线、化工品和活性碳。紫外光（UV）紫外光系统工艺用水里的臭氧毁坏很有效。
因为在大部分超纯水处理方式中不用化工品或加温，所以在简单流动性物理现象中，紫外光是臭氧溶解的最佳选择方式。这是不用加上化工品或其它的材料的最佳选择方式，比如在食品类、饮品、制药业或半导体业。化工品一些化工品还可以导入到水里以清除残余的臭氧。这种化工品包含双氧水、无水亚硫酸钠和硫代硫酸钙。
这种化学添加剂适合于超纯水系统运用以外。与饮用水处理一样，与硫氰酸盐或硫代硫酸盐反应会到几秒内出现。硫氰酸盐的剂量率大约为2.2克亚硫酸氢钠/克臭氧。
硫代硫酸钠的比例是2.1克硫代硫酸钠/克臭氧。与一切化工品一样，您要提前阅读素材网络信息安全表，以避免别的化学变化。可是硫氰酸盐也会产生二氧化硫浓烟，这一点很重要，应注意。活性碳针对少量臭氧，活性碳是除去水里残余物的有效途径，碳能催化反应残余臭氧分解。
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