对于中小型真空设备，旋片式油封式机械泵是最基本的真空获取设备之一，属于低真空泵，工作压力范围为101 325~1x 10-2Pa。它可单独使用，也可以作为其他高真空泵的前级泵使用。旋片式油封式机械泵可用于抽取干燥气体和一定量的可凝气体。以下介绍了旋片式油封式机械泵的常见故障分析及维修办法。
①泵体内油有问题，机械泵性能表现和油的质量及纯度有着非常密切的关系。泵在使用过程中，所抽设备里的杂质和水容易通过抽气进入真空泵油中，这种情况会严重影响机械泵的性能。因此，需要经常对真空泵油进行取样观察。如泵油有颗粒沉淀物、有水沉积、色彩较暗，则需要更换泵油并检查进气口过滤器滤芯是否有损坏。注意不同种类或牌号的真空泵油不可混合使用。
②真空系统泄漏，检查设备真空系统并检漏。
③泵内部元件损坏，拆开机械泵，检查泵体旋片磨损情况，观察泵体表面是否有划痕，如泵体内较脏或有粘糊状物质，则需清洗泵体和旋片后重新安装。
根据经验，如泵体和旋片磨损较轻微，清洗后泵的真空度会有所下降，需测试是否可满足设备真空性能需求。
如磨损严重，则需更换旋片或泵体，由于机械泵旋片和泵体之间间隙直接影响机械泵抽气性能，一般需配合加工。如只更换其中之一，往往难以修复，需配合研磨。
2.机械泵无法正常旋转检查机械泵的电气连接，如是三相机械泵则确定其是否缺相，单相机械泵则检查其电容。如机械泵供电正常，则需从联轴器处将机械泵拆分为电机和泵体两个部分。
断电后分别手试旋转电机轴和泵体联轴器，看是否有较大阻力，如电机无法旋转则需拆开检查其内部转子和轴承是否损坏；如泵体部分卡死则需拆下泵体内旋片部分进行检查，如有必要，可清洗泵体内部。
3.机械泵声音异常①输入电压问题。检查输入电压是否异常，检查电源，开关，线路连接情况。
②泵内油位太低，检查油窗，补充真空泵油。
③弹性联轴器损坏。检查联轴器是否损坏，更换元件。
本文作者：刘 豪，张 强，赵志昊，丁文杰
本文部分摘自《半导体设备真空泵常见故障分析及维修 》
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