四探针测试仪的特点是主机可以配置双数字表，在测量的时候另一个数字表可以时刻监测测量全程的电流变化，免除了测量电流与电阻率的转换，可以更加准确的了解电流问题，下面是四探针测试仪测量薄膜的电阻率的相关内容!
半无限样品上的点流源，如果样品的电阻性ρ均匀，而引入点流源的探针具有I的电流强度，由此产生的电场具有球形对称性，即等位基因是以点流为中心的一系列半球面，如图1所示。在半径为 r 半球表面上，当前密度 j 分布均匀
半导体技术工艺中普遍可以采用四探针法进行测量信息扩散层的薄层电阻，由于公司反向PN结的隔离保护作用，扩散层下的衬底可视为绝缘层，对于企业扩散层厚度(即结深Xj)远小于一个探针间距S，而横向结构尺寸无限大的样品，
在实际工作中，我们直接测量扩散层的薄层电阻，也称为方形电阻，它被定义为在电流方向上具有方形表面的半导体薄层的电阻。
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