高分辨率光谱共焦位移传感器参数(光谱共焦位移传感器原理)(1)

这里只计算光线波长,用以产生测量信号。反射光产生的信号波峰振幅并不在信号测量依据之内。也就是说反射光的光强不会影响测量结果。这意味着,无论有多少反射光从被测物体反射回来,测量的距离结果可能是不变的。因为反射光的光强仅仅取决于反射物体的反光程度。因此,光谱共焦传感器,即使被测物体是强吸光材料,如黑色橡胶;或者是透明材料,如玻璃或者液体,都可以进行正常可靠的测量。

与激光三角反射式位移传感器相比,采用光谱共焦式位移传感器测量曲面玻璃的优势:

1)由于光谱共焦传感器采用分析光谱成分对应距离变化的原理,相比激光三角反射式传感器通过反射光斑在CCD上的位置换算距离变化的原理,光谱共焦传感器测量结果更加稳定,分辨率和线性度更好。实际的测量项目中,采用光谱共焦位移传感器后,整个测量机台的重复性甚至可达亚微米级别。

2)对于曲面玻璃边沿较大角度的位置,光谱共焦位移传感器可以获得更大可测量区域。

3)激光三角反射式传感器更加适合测量漫反射被测物。而对于镜面反射的曲面玻璃,同轴测量原理的光谱共焦位移传感器更加适用。

4)光谱共焦位移传感器的测量光斑更小,测量频率更高,适合快速捕捉微小结构的位置变化。

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