光电行业用超纯水处理设备就是将水中的离子几乎完全去除,又将水中的胶体、气体以及有机物均去除至极低的水处理设备,超纯水处理设备取代了传统的离子交换技术,生产出稳定的去离子水是最佳水处理技术。

纯水处理设备行业标准(光电行业用超纯水处理设备简介)(1)

一、光电行业用超纯水处理设备水质标准

中迪奥生产的光电行业用超纯水处理设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部超纯水水质试行标准、美国半导体工业用水指标、日本集成电路用水标准以及国内外大规模集成电路的水质标准。

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二、光电行业用超纯水处理设备的要求

光电材料生产、加工、清洗。液晶显示屏、等离子显示屏、微电子工业、FPC/PCB线路板、电路板、大规模及超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水来清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高规模越大,对水质的要求也越来越高,这也对超纯水处理工艺以及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性及可持续性等提出了更加严格的要求。

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三、光电行业用超纯水处理设备应用场合

1、电解电容器生产铝箔以及工作件的清洗。

2、电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液用水。

3、显像管和阴极射线管生产及配料用纯净水。

4、黑白显像管荧光屏的生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水。

5、液晶显示器屏面需用纯水清洗和用纯水配液。

6、晶体管生产中主要用来清洗硅片,另有少量用来药液配制。

7、集成电路生产中用高纯度水清洗硅片。

8、半导体材料、器件、印刷电路板及集成电路用水。

9、液晶显示屏、等离子显示屏。

10、高品质显像管、萤光粉生产。

11、半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗。

12、超纯材料、超纯化学试剂、超纯化工材料。

13、实验室及中试车间用水。

14、汽车、家电表面抛光处理用水。

15、光电产品、其他高科技精微产品生产用水。

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四、光电行业用超纯水处理设备制备工艺

1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)

2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺)

3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(最新工艺)

4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(最新工艺)

5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)

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五、光电行业用超纯水处理设备的特点

为满足用户需要达到符合标准的水质,尽可能地减少污染延长设备的使用寿命、降低操作人员的工作量。在工艺设计上,用达到国家自来水标准的水为原水,经过介质过滤器、活性碳过滤器、钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统后,再经过RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI)系统等。系统中水箱设有液位控制系统、水泵设有压力保护装置、在线水质检测仪表、PLC可编程控制系统,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。

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