之前的文章已经介绍过制造芯片所需要的半导体设备,从这一章起给大家介绍一下制造芯片所需要的材料,今天小编就来聊一聊关于芯片代码对照表?接下来我们就一起去研究一下吧!

芯片代码对照表(科技简章020-制造芯片所需要的材料)

芯片代码对照表

之前的文章已经介绍过制造芯片所需要的半导体设备,从这一章起给大家介绍一下制造芯片所需要的材料。

芯片制造分为前道制造工艺和后道封装工艺。

在前道工艺中,主要材料包括晶圆片、掩膜版、电子气体、光刻胶、CMP(化学机械抛光)的抛光材料、高纯度湿电子化学品以及靶材。

在后道封装工艺中,主要材料包括引线框架、封装基板、陶瓷基板、键合丝、包装材料及芯片粘接材料等。

从2019的数据来看,整个半导体材料的市场规模在521亿美金左右,其中前道芯片制造材料的市场规模为328亿美元,后道封装材料的市场规模约192亿美元。

这里我们主要讲前道芯片制造材料,就是328亿这部分。至于封装的部分,将在后续的文章中再介绍。

下面对各种材料进行简单的介绍,让大家先有个印象。每一种材料的具体介绍将会在后续开单章详细讲。

前道制造材料中占大头的是晶圆片,我们通常说8英寸、12英寸硅片就是这个东西。它是芯片制造的基底材料,占了前道工艺半导体材料比重的38%以上。

关于硅片的内容,前面已经用005到007三章进行过详细的介绍,有兴趣的朋友可以凌波微步一下。

排名第二的是掩膜版,占前道工艺中材料的13%。

掩膜版,又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版等等。

芯片设计公司一般比较喜欢说“去做光罩”或者“去mask”了,这就是设计图发去做掩膜版了的意思。

掩膜版,其实就是芯片制造光刻工艺所用的“图形母版”,承载了电路图设计和工艺技术等关键信息。掩膜版通常由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形,再通过曝光系统将图形转印到芯片上。

最简单粗暴的理解就是,掩膜版像一块由透明和不透明材料做成的“图样”,光刻机的光源对着掩膜版一打光,将掩膜版上的图样投射在涂了光刻胶的晶圆上,光刻胶受到光照发生化学反应,将图形显现出来呈现在晶圆上。

当然实际的过程比这个要复杂和高难度得多,这就是个便于理解的粗暴描述而已。

这里我们也可以看出,掩膜版上也是有图样的,对,这个“原始图样”也是要用光刻机给“印上去”。只不过掩膜版的面积比最终芯片要大,所以这里需要的光刻技术难度没有那么高。在制作芯片的时候,会将掩膜版上的图样按照比例缩小。

显然,作为“母版”,掩膜版是芯片制造的关键,它图样的精度、质量、准确度直接影响芯片的生产。

掩膜版的上游一般就是芯片设计公司,他们负责搞电路图设计。还有就是做掩膜设备和掩膜材料的供应商。下游客户就是晶圆厂、封装厂、面板厂、电路板印制厂等等。

由于下游客户自建掩膜版生产线的投入产出比很低,而且这也有较高技术壁垒的行业,所以全球范围内掩膜版一般以专业的生产商为主。HOYA、SKE、LG、PKL 等海外厂商垄断了 90%的市场份额。

当然像台积电、三星这样的大户也是有自己的掩膜版生产线的。

近年来,掩膜版不断向高精度、大尺寸方向发展,这对掩膜版厂商的技术自然有了更高的要求。

目前,国内的部分龙头企业在中低端产品上已经接近国际一线水平,但是在10代大尺寸、AMOLED用高精度掩膜版等领域还是有差距。

和掩膜版同样位列第二的是电子气体,也占了前道半导体材料的13%。

电子气体,广义上指电子工业生产中所使用的气体,狭义的就是特指半导体行业用的特殊气体。所以,有时候我们也会看到某些文章中将半导体应用中的电子气体叫“电子特气”。

在中国的特种气体销售中,电子行业占41%,石油化工占39%,医疗环保占10%,其他领域占10%。

在电子行业中,芯片制造使用电子气体又占了42%,可谓是真“用气大户”了;排名第二的是显示面板领域,占37%;之后是太阳能和LED领域,占13%和8%。

在芯片制造中,电子气体又可以分为大宗气体和特殊气体两类。

其中,大宗气体是氮气、氧气、氩气、氦气、氢气等这类纯净气体。

这种气体中的氧气、氢气等,主要是“反应气体”,它们会参与到化学反应中。

氩气、氮气、氦气这类的惰性气体,主要是“保护气体”,它们不参与化学反应,负责对反应保驾护航。

与大宗气体相对的是特殊气体,通常是一些要参加化学反应的化合物气体。

比如硅烷、磷化三氢、一氧化二氮、氨气,四氟甲烷等等,它们在芯片制造过程中肩负一些物质生成的重担。

在芯片制造过程中使用的电子气体有 100 多种, 核心工段常见的在40到50种左右。

电子气体会广泛地参与芯片制造工艺中的清洗、刻蚀、成膜、掺杂等等步骤。可以说,从制作硅晶棒开始到最后的芯片封装,每一个环节、步骤,都少不了电子气体的打工身影。

但显然,作为芯片作为“高精密”制造工业,并不是什么气体都有责个获得“打工人”身份的。毕竟,这位“打工气”对芯片的良率和可靠性起到了关键的作用。

举个简单的例子,普通工业气体纯度要求在99.99%左右。但要给芯片打工,这个纯度就必须更高才行。在先进制程芯片工艺中,气体纯度要求在 6N(99.9999%)以上。

目前,全球特气市场美国气体化工、美国普莱克斯、日本昭和电工、英国 BOC(现为德国林德集团子公司)、法国液化空气和太阳日酸株武会社六家公司所垄断。国内市场海外六大龙头企业也控制了 85%的份额。

不过值得欣慰的是,截止 2019 年,芯片制造过程中用到的 83 种比较主要的电子气体,其中有35%已实现本土化,包括高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气和高纯 CL2 等。

在半导体制造材料中占比排名第三的是光刻胶及其配套材料,占12%。

光刻胶应该算是半导体材料中技术壁垒最高的,也是目前国产替代差距最大的材料。

目前国内主要在显示面板光刻胶、PCB光刻胶这种比较低端的应用领域实现了进口替代。半导体制造所用的高端货,咱们确实还差点意思。

光刻胶,顾名思义就是用在光刻工艺中。把它用涂胶机涂抹硅片、玻璃和金属这类的衬底材料上,通过曝光、显影和蚀刻等工序,将掩膜版上的图形转移到衬底材料上。

光刻胶的原材料主要为树脂、溶剂和其他添加剂。这里面占比最大的是溶剂,达到80%。占比最小的其他添加剂,占5%。

但,就是这5%却对光刻胶的性质、性能、功能等起到关键性的作用。

看到这里大家应该也猜到了,光刻胶的配方那是高度商业机密!复制黏贴显然是不可能了,所以中国做光刻胶基本就是一遍一遍不断试错,再加些偶然性的运气……

光刻胶的下游应用主要有半导体光刻胶、面板光刻胶和PCB光刻胶,难度递减。

光刻胶的主要生产企业有日本东京应化、JSR、住友化学、信越化学、韩国东进世美肯、美国陶氏杜邦。其中,日本企业占据约70%市场份额有绝对的优势。

在半导体制造材料中占比排名第四的是抛光材料,占7%。

芯片抛光采用的是CMP抛光,即化学机械抛光。

听听这名字,化学、机械抛光。显而易见,这就是化学作用和物理作用一起搞的抛光技术,目前能享受这项抛光技术的主要就是蓝宝石和硅片了。

CMP抛光就是把硅片放在抛光垫上,在抛光液的存在下不断旋转。这个过程中,粒子的机械研磨和材料的化学反应同时进行,使得硅片表面变得平整。

这里的抛光垫,主要作用就是承载硅片以及传输抛光液,它同时会传导压力,这就是“机械”因素。

抛光液,通常含有纳米级二氧化硅、氧化铝等粒子,主要就是为抛光对象提供研磨即腐蚀溶解作用,这就是“化学”因素。

从这里也可以看出,CMP抛光工艺的三项关键要素就是抛光机、抛光片和抛光液。

由于 工艺制程和技术节点不同,每片晶圆在生产过程中都会经历几道甚至几十道CMP抛 光工艺,7nm以下逻辑芯片中CMP抛光步骤达到三十步,使用抛光液种类近抛光液和抛光垫是易耗品。

其中抛光片和抛光片属于耗材,也就是我们今天要讲的材料。2018年全球抛光材料市场规模为20亿美元左右,其中抛光垫12.7亿,抛光液7.4亿,两者合计占抛光材料总成本的82%。

抛光垫通常由多孔的弹性材料组成,一般由含有填充材料的聚氨酯构成。表面有特殊沟槽用来提高抛光的均匀性,使用寿命为45到75小时。

抛光垫按照材质,有聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫、复合型抛光垫等几种。技术壁垒挺高的,而且客户的认证时间一般都是一到两年,还不会轻易更换供应商。

目前抛光垫基本依赖进口,全球市场美国陶氏化学占80%市场份额,在细分芯片和蓝宝石上更是占据90%的市场份额。此外,3M、卡博特、日本东丽、台湾三方化学等也可以生产部分芯片用抛光垫。

不过,中国的鼎龙股份也能量产抛光片了。它在2019年上半年获得了第一张12英寸客户订单,下半年开始放量,算是实现国产化的零突破。

目前鼎龙股份的抛光垫能够覆盖8英寸到12英寸特征尺寸,支撑28nm工艺节点的抛光垫在2020年10月获得了订单,14nm先进制程用抛光垫还在研发中。

CMP抛光液,主要由研磨颗粒、表面活性剂、稳定剂、氧化剂等成分构成。

其中研磨颗粒负责研磨,这得是纳米级的。根据研磨颗粒不同,抛光液又分为二氧化硅抛光液、氧化铈抛光液、氧化铝抛光液和纳米金刚石抛光液等几大类。

氧化剂就是搞腐蚀溶解的。

现在,随着芯片制程的不断精细,抛光液的需求量不断增加。比如5nm芯片制程的逻辑芯片,大概25%到30%的工序步骤需要抛光液加持。存储芯片的工艺从2D NAND升级到3D以后,大约一半的步骤需要抛光液。

抛光液市场也是境外巨头垄断,前五大供应商卡博特微电子、陶氏杜邦、VSM、日本日立、富士美占了将近八成市场份额。

中国能做抛光液的厂商主要就是安集科技,它家的氧化铈磨料的专利数全球第一。目前已经能做8英寸和12英寸晶圆线抛光液,芯片制程能做到14nm。10到7nm制程节点所需的抛光液正在研发中。台积电和中芯国际这样的龙头都是它的客户,2018年全球抛光液市场占有率在2.44%左右,近两年应该有进一步提升。

半导体制造材料中排名第五的是湿电子化学品,占5%。

湿电子化学品是芯片制造中不可或缺的化学试剂,它有着要求苛刻的颗粒和杂质含量,在芯片制造中的清洗、显影、刻蚀等工序中有广泛的应用。

除了在半导体领域的应用外,湿电子化学品在平板显示和光伏太阳能领域也有较大的使用。

其中,半导体领域对湿电子化学品的质量要求最高,平板显示领域对其需求量最大,光伏太阳能领域的国产替代率最高。

湿电子化学品可分为两类,一类是通用的湿化学品,又称超净高纯试剂(high-purity chemicals)。

这种超净高纯试剂按照化学性质又分为四类:

酸类:如氢氟酸、硝酸、盐酸、磷酸、硫酸、乙酸等;

碱类:氨水、氢氧化钠、氢氧 化钾、四甲基氢氧化铵等;

有机溶剂类:醇类、酮类、脂类、烃类、卤代烃类等;

其他类:双氧水等。

与通用类湿化学品相对的是功能性湿化学品,又称功能性材料。

这类化学品主要使用在特殊工艺中,比如光引发剂、显影液、刻蚀液、漂洗液等。

相对于芯片制造的其他材料,湿电子化学品应该是技术难度最低的,而且绝大部分原材料我们国家都有。所以湿电子化学品是最有可能率先实现国产替代的材料。

它技术难度最低的关键就在于湿电子化学品的技术难度相对单一,总共就是两个关键难点:

第一:纯度、洁净度和杂质颗粒大小。

湿电子化学品根据质量被分为5个档次,G1为最低档,G5为最高档。

目前国内少数公司能达到G3,大部分处于G2的水平。一般12英寸晶圆的要求至少是达到G3。芯片线宽越精细,对湿电子化学品的质量要求越高,所以越是先进的制程通常也要求在G4甚至G5标准。

第二:保存运输。

湿电子化学品难保存,而且保存期比较短。所以存储和运输中如何保证质量对厂商来说是一个关键的难点。

而且,很多化学品是有毒害且易燃易爆的,因此对包装材料也有特殊的要求。并且,包装材料还可能会在存储和运输过程中带来二次污染,毕竟咱们的试剂纯度太高了,经不起半点“插足”。

目前国内厂商为了解决存储和运输过程中的二次污染问题,还必须在使用前二次清洗包装容器,而国外的厂商,嗯,不需要这个步骤。这也成了制约咱们高纯试剂发展的一大痛点。

为了尽可能减少运输中的幺蛾子和成本,一般做试剂的厂商都会根据客户爸爸的位置就近建厂,所以中国的湿电子化学品龙头基本都趴在长三角电子产业基地。

目前,中国的清洗和刻蚀相关的湿电子化学品已经接近国际领先水平。

在半导体应用领域整体国产化率超过20%,但比较复杂的比如正胶显影液、正胶剥离液、光引发剂这种高端“混配”试剂主要靠进口。

在平板显示领域,湿电子化学品的整体国产化率在35%左右。但OLED及大尺寸液晶面板所需要的部分试剂还主要被日本、韩国和台湾掌控。

放眼全球,湿电子化学品主要被欧美、日本、韩国和台湾的公司垄断。但由于这种东西的细分品类实在是太多了,所以市场格局相对分散。

主要公司包括德国的巴斯夫公司、E.Merck;

美国的亚什兰公司、 霍尼韦尔公司;

日本的关东化学公司、东京应化、住友化学;

韩国主要有东友、东进;

台湾地区主要的台湾东应化、伊默克化学、台湾联仕电子化学材料、长新化学、 台硝投资股份及理盛精密科技等。

国内做湿电子化学品的龙头代表是晶瑞股份和江化微。

其中,晶瑞股份在半导体制造三种用量最大的高纯湿化学品,高纯度双氧水、高纯度氨水和高纯硫酸均上面已达到G5等级。

在光伏太阳能和面板领域常用的超净高纯试剂如 BOE、硝酸、盐酸、氢氟酸等也做到了G3 和 G4 等级。

另外,这家公司也生产光刻胶。它的 i 线光刻胶已经进入中芯国际生产线。

江化微也是中芯国际的供应商,另外它家能做显影液产品,不过目前主要用在后道封装工艺中。在显示面板方面,客户有深天马、京东方等,能为高世代线提供部分产品。

随着12英寸晶圆对8寸晶圆的不断迭代,湿电子化学品的用量会发生巨大的变化。

8寸时,每万片需要消耗湿电子化学品约45吨;到了12寸,消耗量达到240吨。市场需求的扩大对国产替代提供了很好的机会。

在半导体制造材料中排名第六是靶材,占2%左右。

靶材主要用在沉积薄膜制备工序中,前面有一章专门讲沉积膜设备的时候有提到过。它是沉积薄膜的溅射源。

简单粗暴的理解就是,在基板上你需要镀什么类型的膜,就用高能粒子去撞什么类型的靶材,把靶材上的原子轰出来趴到基板材料上。

靶材不仅仅用在半导体制造中,2019年全球靶材市场规模在 160 亿美元左右,半导体应用只占11.4%算是最小的一块。

比较多的是用在显示面板上,占33.8%;第二是磁记录媒体(主要是机械硬盘 HDD),占28.6%;第三是光伏电池,占18.5%。

不过,不同应用领域使用的靶材种类是不同的哈。

按照材质分,靶材又可以分为金属靶,比如铝、钛、铜、钼靶;

陶瓷靶,比如氧化铟锡靶、氧化铝锌靶、 氧化镁靶、氧化锌靶和合金靶;

合金靶,比如铁钴靶、铝硅靶、钨钛靶、钛硅靶。

芯片一般会用金属靶,比如铝、铜、钛、 钽、铊靶材;

显示面板一般使用铝、铜、 硅、钼、氧化铟锡靶;

光伏薄膜电池使用铝、铜、钼、铬、 氧化铟锡靶;

磁记录媒体使用钴、镍、铬、铁合金靶。

不同领域对靶材的纯度要求也不同,半导体要求最高,通常得99.999(5N),其中超大规模集成电路得99.9995%(5N5),先进芯片工艺制程得 99.9999%(6N)。

平板显示要求纯度为5N,磁记录媒体和光伏电池要求最低为4N到4N5。

半导体用的金属靶,中国的差距主要在提纯技术上,毕竟人要求5个N起步,一般的金属提纯技术搞不定。长期以来,咱们的高纯金属主要靠进口,这也提高了国产金属靶的成本。

目前霍尼韦尔、日矿、东曹等美日企业在超高纯金属靶材中占了八成以上市场份额,而且各有绝活。

不过,咱国家也不是没有!

新疆众和,能提纯5N(99.999%)超高纯铝和高纯化熔炼铸造生产能力的企业。

有研新材,能量产提纯6N电解铜,并且已经制备出纯度大于4N的钛金体和5N高纯钴。

在纯度要求低一等的显示与光伏领域用的这个氧化铟锡靶,国内的差距主要在大尺寸靶材技术上。

搞这种靶材需要一种关键设备,大型烧结炉,目前这个设备还没有完全国产化,而且贼贵。所以,咱们在制作氧化铟锡靶用的比较多的是热等静压工艺,这个技术在靶材尺寸超过200mm×200mm的时候,就会容易断裂、密度低。

不过,宽幅氧化铟锡靶咱们国家还是有!

隆华科技的子公司四丰电子就能量产宽靶,2017 年 4 月,四丰电子成功研制出能够打破国外垄断的宽幅靶材,2019 年开始给韩国 LG 公司供货。

好了,现在来做一个总结。目前国产半导体材料按照发展情况可以分为三个梯队:

第一梯队:硅片、 CMP抛光材料、湿电子化学品、靶材、封装基板及引线框等部分封装材料。

这些材料中的部分细分领域,其产品技术能达到全球一流水平并实现量产供货。

第二梯队: 电子气体、化合物半导体、掩膜版。

这些材料中部分个别细分领域能达到全球一流水平,实现小批量供货或者客户验证中。

第三梯队: 光刻胶,技术尤其在高端领域,与全球一流水平仍存在一定差 距,目前基本未实现批量供货。

当然,未来咱们还是可以期待一下的。

这里要提到一个很重要的因素,钱!

2014年中国成立了集成电路投资基金一期,就是我们经常看到的“国家大基金”了。截至2018年9月,这1387亿基本已经投完。重点投资在了芯片制造领域占67%,芯片设计占17%、测试封装占10%,材料仅仅只有1%。

这么多钱砸下去之后,不少拿到钱的公司业绩都迅速释放,明显加快了国产替代的进程。

比如中芯国际、北方华创、三安光电、长电科技、兆易创新、紫光国微、中颖电子、北京君正等等。大家可以感觉一下这些公司从2014年到现在的股价和市值。

一个行业的发展,钱不是万能的,但没有钱是万万不能的。

在没有国家大基金牵头投资之前,市场化的投资机构一般不怎么偏好半导体行业。

一来,这个领域投资金额不小但研发时间很长,而且研发出来的产品客户认证时间也长,即便认证通过逐步替代别的成熟供应商也是个缓慢的过程。这就意味着风险很高。

二来,那个时候还没有科创板,要满足A股的上市要求,收入和净利润都是道坎,这就是所谓的不好退出。

第三、在细分领域,比如半导体设备市场规模不大,比起互联网动则千亿、万亿的大饼实在诱惑力不够。而单台设备的价格又很高,一年少卖个两三台那简直对收入和净利润是天大的影响。并且,半导体又是个强周期的行业,遇到行业性低谷那只能在家啃馒头。这就是典型的增长确定性不高,风险大。

第四、在半导体材料领域,这个市场就更加细分了,单独拿出来一块就是蚊子腿的市场规模。

第五、专业看半导体的投资人和机构不多,这个领域涉及到的专业知识深且广,要看懂挺费劲的。比起互联网行业,普通人都能说点“黑话”,半导体对投资人专业度的要求明显高很多。

总之,在没有国家大基金之前,中国的半导体产业是真挺缺钱的。

2019年10月22日,国家大基金又搞了第二期,注册资本达2041亿。已经明确主要投资领域会包括半导体设备和半导体材料。

所以,对比大基金一期那些拿到资金的企业,我们也可以期待一下拿到二期资金的企业,假以时日是不是也能飞一会儿!

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