无论是大气(常压)等离子清洗机,还是真空(低压)等离子清洗机,在对材料进行表面改性的时候都会通入工艺气体,如无水无油的干净压缩空气,有一定纯度要求的氮气、氧气、氩气等,这些气体和等离子体有什么区别呢?

等离子清洗机中通入的普通工艺气体要想转化为等离子体,每个粒子大约需要1~30eV(1eV=1.6022×10-19焦耳)的能量,其中的粒子具有较高的活性和能量密度。

但要注意的是,电离的气体不一定是就是等离子体,虽然等离子体和普通气体存在一些共同特点,如它们均满足气体状态方程,但它们却有截然不同的性质,主要的3个方面的区别,现对比如下:

等离子体清洗机怎么用(等离子清洗机中的等离子体与普通气体有什么区别)(1)

普通气体和等离子体之间的区别

真空(低压)等离子清洗机中的四氟化碳等离子体图片

等离子体清洗机怎么用(等离子清洗机中的等离子体与普通气体有什么区别)(2)

四氟化碳等离子体(CF4)

真空(低压)等离子清洗机中的氧等离子体图片

等离子体清洗机怎么用(等离子清洗机中的等离子体与普通气体有什么区别)(3)

氧等离子体(O2)

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