产品介绍
Products Introduction
探针台系列
Probe Station
华钛技术，聚焦未来
Excellent Tech,Focus on Future
研发团队介绍
团队自主研发了多种自主知识产权的高端科研设备，涵盖了新型低维材料的生长、表征和物性测量各个方面的功能需求。研发的七类产品分别为：化学气相沉积（CVD）、扫描隧道显微镜（STM）、超高真空组件和配件、探针台和低温系统、压电驱动纳米位移台（Nano Motion）、六轴并联机器人和无掩膜光学曝光机。
我们注重人才的力量，研发团队来自海内外名校，拥有中、高级职称，汇聚了先进装备制造特别是材料研究相关的高端设备领域最先进的科研力量。
精密仪器团队与华钛技术立足华北，辐射国内其他科技发展重镇，与海内外知名科研机构及相关企业建立了长期的合作伙伴关系，并凭借稳健的研发速度，稳定的产品质量，完善的产品服务，获得各领域客户的一致好评。
研发成熟已推出的产品主要为：化学气相沉积（CVD）、扫描隧道显微镜（STM）及超高真空组件和配件、压电驱动纳米位移台（Nano Motion）。
目录
干式液氦温区探针台
低温液氮探针台
室温自动探针台
液氦恒温器
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干式液氦温区探针台
干式液氦温区探针台是华钛专为样品的非破坏检测和真空洁净而设计的，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF），MEMS，纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。利用液氦压缩机实现变温制冷系统，无需灌装液氦，最低温可达6K。同时配备自动温度控制器（稳定度为0.05K），带有触控界面和LabView驱动，工作温度范围在6K至400K。样品台尺寸从2英寸至6英寸。
干式液氦温区探针台
产品特点
1． 真空腔体：真空度优于6x10-4Pa。降温后优于6x10-5Pa。留有2个用户法兰接口（KF40可接入气体或者额外的电缆）；
2. 探针控制：标配6个探针臂。调节范围110mm＊50mm＊30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；
3. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0.5x～3.75X（使用0.75X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；
4. 变温样品台：直径标配50mm，选配最大150mm。变温范围：6K～400K。控温稳定性优于±0.01K;
5．可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；
6．系统直流漏电低于1pA；
7．产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。
图示为华钛科技产品在实际应用过程中采集的数据。产品通过特殊的设计满足高效的降温速率．图示曲线为实测数据，在4小时内完成的降温过程，大大提升了试验效率和使用体验。后续温度的保持度与时长更是满足大量的实验需求。
同时支持定制，国内售后，更是方便在第一时间提供产品的售后服务，让您的使用更无后顾之忧。
温控器
T-time Graph
一级冷头降温曲线
二级冷头降温曲线
低温液氮探针台
低温液氮探针台
产品特征
1． 真空腔体：真空度优于6x1 Pa。降温后优于 6x10-5Pa6x10-4Pa -5Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；
2. 探针控制：标配4个探针臂。调节范围50m m＊30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆
3. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0.5x～3.75X（使用0.75X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；
4. 变温样品台：50mm直径。变温范围：80K～400K。控温稳定性优于±0.01K；
5．可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；
6. 系统直流漏电低于1pA。
7．产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。
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低温液氮探针台产品参数 | |
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型号 |
LN-4H-06 |
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外形 |
838*800*1355 |
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系统功率 |
1KW |
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电压 |
220V交流 |
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腔体真空度 |
1.0*10^-6pa |
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重量 |
150kg |
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测试直径 |
6／8／12寸 |
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探针X轴行程 |
110mm |
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探针YZ行程 |
50mm |
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探针调节精度 |
±0.01mm |
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制冷方式 |
液氮制冷 |
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X-Y轴额定速度 |
手动调节 |
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腔体直径 |
245mm |
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探针臂数量 |
4（可选配6） |
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温度下限 |
77K |
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探针臂 |
每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针，样 |
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品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆 | |
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显微镜倍率 |
0.5x～3.75X（使用0.75X附加物镜时） |
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地脚 |
底部塑胶减震地脚 |
探针频率
26GHz-100GHz（可选）
红外光源订制腔体
低温液氮探针台
室温自动探针台
室温自动探针台是华钛技术研发的高可靠性探针台系统，主要应用在半导体／微电
子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电／MEMs，生物芯片，航空
航天等科学研究领域，以及IC设计／制造／测试／封装、
LED、LCD／OLED、LD／PD、PCB、FPC等生产制造领域。
旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点，该平台配备高精度位移台，可实现X、Y、Z、R等方向自动调整，各移动轴可实现±0.005mm以下的精度定位，对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用，稳定性强，可升级扩展，操作方便是本产品的核心价值，在各大高校、研究所及半导体行业应用广泛。
产品特征
1．标配4个探针臂，可提供4-8个探针臂。调节范围50mm＊50mm＊30mm，调节精度优m*50mm*30 于5um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；
2．显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0.5x～5．OX（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦
3．样品座采用电机驱动，可实现快速于目镜下寻找样品，调节范围：100mm*100mm*15mm*±180°。
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室温自动探针台
室温自动探针台（加磁场）
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室温自动探针台产品参数 | |
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型号 |
TZ-H-06 |
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外形 |
444*607*646 |
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重量 |
40kg |
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XY轴行程定位精度 |
±0.005mm |
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Z轴行程定位精度 |
±0.005mm |
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R轴行程定位精度 |
±0.05° |
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测试直径 |
6／8／12寸 |
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X-Y轴行程 |
100mm |
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Z轴行程 |
15mm |
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R轴行程 |
360° |
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X-Y轴额定速度 |
100mm/s |
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Z轴额定速度 |
10mm/s |
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R额定速度 |
20°/s |
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探针臂调节行程 |
X-50mm,Y-50mm, |
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Z-30mm | |
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探针臂调节精度 |
5um |
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每个探针臂配备一 | |
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根Triax三同轴低漏 | |
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探针臂 |
电线缆及探针，样 |
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品台底座配备额外 | |
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一根Triax三同轴低 | |
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漏电线缆 | |
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显微镜倍率 |
0.5x～5.0X（使用1X |
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附加物镜时） | |
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地脚 |
底部塑胶减震地脚 |
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探针频率 |
26GHz-100GHz（可 |
26GHz-100GHz（可选）
液氦恒温器
华钛科技的超低震动干式液氦光学低温恒温器系统，使用气体导热隔震，实现样品台纳米级的机械稳定性。为有效降低环境震动影响，产品设计安装在光学隔震平台上。
超低震动干式液氦光学低温恒温器系统使用氦气交换冷却样品，样品处最低温度可达
4.2K，最高温度可达373.0K。
另外设计调节支架，既满足冷头的支撑，同时可以调节冷头的具体高度，以方便使用。
高度定制化的服务，更是满足客户多元化的需求。
该产品的主体结构包括制冷机系统、真空罩、防辐射屏及样品托等，通过配置不同类型的真空罩及相关设备，可实现众多低温试验的样品降温需求，于此同时，该产品可以配置纳米级精度三维定位装置（包括超高真空环境），满足各种样品的观测需求。
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液氦恒温器 | |
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温度范围 |
4.2-373.0k |
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温控精度 |
±0.05k |
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真空度 |
5*10-4 ppa |
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定制化 | |
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温控精度 |
±10mk |
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真空度 |
超高真空级别 |
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