滑阀式真空泵是一种结构可靠耐用的油封式机械泵，也是一种容积式气体传输泵。滑阀泵的结构与旋片泵相似。
（一）泵总体结构型式
泵体的布置结构决定了真空泵的总体结构。
立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便，但重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。
卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向幵口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。
泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
（二）泵的传动方式
真空泵的主动轴通过联轴器与电机联接，电动机与齿轮放在转子的同一侧。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最大缺点是：
a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；
b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。
（三）辅助装置
当被抽气体中含有水蒸气或其他可凝性蒸汽时，将会被压缩成液体混入油中，随着油在泵内循环，降低泵的极限真空，破坏油的性能。因此，滑阀泵设有气镇阀，气镇孔开在排气口附近或泵的端盖上，当滑阀转到某一规定的位置时，经过气镇装置从小孔向压缩腔掺入所需的气体，这样可使可凝性蒸汽不凝结而被排出。
由图1可见在排气阀的上部有油箱，出口处设置油气分离器，对从泵内排出的油气进行分离以减少泵油的损耗和对环境的污染。当泵在低真空（入口压强超过133Pa）条件下工作时，由于排气量大，排气口附近泵油被雾化成油雾状，随气体一起排出泵外。为了减少和消除这种油雾对室内环境的污染，在油箱排气口接一条管道直接把油雾引出室外。
图1 滑阀泵结构图
目前，滑阀泵主要有三种结构形式，如图2所示：（a）滑阀杆铰接在滑阀环上；（b）滑阀杆与滑阀环做成一体，在滑阀导轨内滑动并摆动（详见图3）；（c）行星式滑阀泵，将滑阀环改成转子，在摆动的滑片上滑动。行星式把偏心转子做成圆板状，滑阀装在滑阀体的开口槽内，另一端铰接在泵体上使其能摆动，当泵工作时，电机带动圆板自转，插在偏心孔内的滑阀体（转子）沿着滑片滑动并跟着圆板公转，固有行星式滑阀泵之称。在旋转过程中，滑阀体和泵腔内壁始终保持一定的密封间隙。
图2 滑阀泵的三种结构形式
图2（a）所示的结构中，转子包括偏心轮和独立的滑阀环的，转动时会产生较大的惯性力，滑阀杆单独伸在泵腔之外，摆动幅度较大。并且滑阀杆与滑阀环铰接处的球关节加工难度也比较大。
图2（c）中所示的行星式滑阀泵，与体积和转速相同的其他形式的滑阀泵相比，具有滑阀体尺寸较小，抽速较大的优势。但是，由于滑阀杆的摆动幅度较大，所以这种结构只适用于小型的真空泵。
图2（b）所示的结构中，滑阀环和滑阀体做成一体，省去了加工复杂的球形铰链，并且在泵腔外部的滑阀杆受到导轨的限制和保护，摆动时比（a）图所示的结构更安全，在摆动幅度最大时，滑阀杆与泵腔碰撞处不易产生断裂。而且这种结构的容量大，运转稳定，所以，在实际产品中，均采用滑阀杆和滑阀环做成一体的结构。
图3 滑阀式真空泵工作原理示意图
本文作者：易旦萍
本文部分摘自《滑阀式真空泵的振动分析和结构改进》
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