激光干涉仪以光波为载体，利用激光作为长度基准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。
一、基本原理（迈克尔逊干涉原理）
激光束通过分光镜后，分成两束激光（参考光束和测量），分别经两个角锥反射镜反射后平行于出射光返回，通过分光镜后进行叠加（两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件），产生相长或相消。反射镜每移动半个激光波长，将产生一次完整的明暗干涉现象，通过接收到的明暗条纹变化及电子细分，即可求得距离变化（距离=干涉条纹数*激光半波长）。
二、产品功能
相关功能主要基于线性测量衍生，区别主要在于反射镜结构，可参照光路图理解。
1、线性测量
2、角度测量
3、直线度测量
4、平行度测量
5、垂直度测量
6、平面度测量
7、回转轴测量
三、关键参数
以雷尼绍(Renishaw) XL-30、XL80型号激光干涉仪为例。
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类型 |
XL30 |
XL80 |
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系统精度 |
±1ppm |
±0.5ppm |
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激光稳频精度 |
±0.1ppm |
±0.05ppm |
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分辨率 |
0.01um |
0.001um |
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最大测量速度 |
4.0m/sec |
4.0m/sec |
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最高采样频率 |
5kHz |
50kHz |
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测量范围 |
0~30m |
0~80m |
激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等作线性位置、速度、角度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密仪器的校正工作。
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