激光刻蚀技术原理:激光刻蚀原理是大(80W~1000W)功率激光束聚焦成极小光斑,在焦点处形成很高的功率密度,使材料在瞬间汽化蒸发,形成孔、缝、槽。可对应的材料为1mm以下的铝、铜、不锈钢等金属导电材质。其加工工艺包括激光切割、划片、刻蚀、钻孔等。

激光蚀刻技术(导电膜铝不锈钢激光蚀刻划线工艺解析)(1)

发热片激光蚀刻机

激光刻蚀技术的特点:激光刻蚀的特点是利用激光具有的无接触加工、柔性化程度高、毛刺低、加工速度快、无噪声、热影响区小、可聚焦到激光波长级的极小光斑等优越的加工性能,获得良好的钻孔、划片、刻蚀和切割尺寸精度和加工质量,尤其是与某些材料(如聚酰亚胺)相互作用是属于“光化学作用”的“冷加工”,可获得无碳化效果,在电子半导体材料加工中应用十分广泛。

激光蚀刻技术(导电膜铝不锈钢激光蚀刻划线工艺解析)(2)

华越激光蚀刻机

激光蚀刻划线工艺可代替传统的化学蚀刻,传统蚀刻不仅化学污染高、加工成本高、毛刺高、且工艺涂胶难以去除。激光蚀刻恰好解决了这一痛点:1.非接触性加工,图形可直接通过电脑实现。2.毛刺可控,激光蚀刻的毛刺低至0.03mm以下。3.环保、使用寿命长等优点

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