跋陀，又名佛陀，天竺（印度）人。北魏孝文帝时来中国传播佛教，深得敬重。北魏迁都洛阳，孝文帝在洛阳为他建造寺院。跋陀性喜幽静，孝文帝又在嵩岳少室山下为他建造寺院。这座寺院即现在的少林寺，跋陀是少林寺的创立者和第一位住持。他在寺内翻经台翻译了《华严》、《涅槃》、《维摩》、《十地》等经，并度化了慧光、僧稠等人。跋陀年老后迁居少林寺外，直到圆寂。
2.僧稠（480～560）僧稠，昌黎人，俗姓孙。先在巨鹿景明寺出家，拜治实为师，后到少林寺拜跋陀为师。僧稠少时体质较弱，后发愤习武，练得拳捷骁勇，体轻身灵。他理解极快，学佛成绩卓著，被跋陀赞为“葱岭以东，禅学之最”。他后来在嵩岳寺讲经说法，影响很大。
3.慧光（487～536）慧光，长卢人，俗姓杨。十三岁时随父入洛阳，后被跋陀收为弟子，不久在少林寺出家。他为跋陀所译佛经注疏，刻版印刷，又因他学佛心领神会，向人传授讲解透彻，被称为圣沙弥。他圆寂于河北邺郡。
4.菩提达摩（？～536）菩提达摩，天竺（印度）人。梁大通元年（527年）从广州登陆，到中国传播佛教。达摩渡长江入北魏境，先游历了洛阳，后到少林寺，在五乳峰上一个石洞里面壁静修，时间长达九年。他依据大乘派教义，融汇中国精神，开创了中国佛教禅宗，被尊为初祖。在众多求教者中，达摩选择将衣钵传给了慧可。东魏天平三年（536年）达摩圆寂，葬于熊耳山，立塔于定林寺。
慧可，洛陽虎牢人，俗姓颐。他幼年出家，通晓佛典。四十岁时拜菩提达摩为师。为表求道决心，慧可竟用刀自断左臂，奉献达摩座前。达摩感其赤诚，授法器、赐法名，收他为传法弟子。慧可是禅宗二祖，他在少林寺西南山上养伤时的住所和石台，后成为二祖庵和养臂台，遗迹尚存。
6.洪遵（530～608）洪遵，相州人，俗姓时。他八岁到少林寺出家，跟从师父资云。后被北齐朝庭封为断事沙门，负责处理僧人违反佛教戒律之事。隋时，文帝也封洪遵为官，但他仍住在少林寺内。隋文帝开皇七年（587年），洪遵被举召赴京，与印度僧人一起译经。
7.法如（638～689）法如，上党人，俗姓王。幼年随舅父到丰阳，先事青布明为师，十九岁时出家。经青布明指点，他又投禅宗五祖弘忍为师，侍奉前后共十六年，直至弘忍灭度。之后他北游嵩岳，在少林寺住下，唐永昌元年（681年）圆寂。他被认为是传自弘忍的又一位禅宗六祖，塔在少林寺东侧许塔沟村口。
8.慧安（？～709）慧安，荆州支江人，俗姓李（一说姓卫）。隋开皇十七年（597年）搜勘天下私度僧尼，慧安遁往山中。为挖大运河，隋大业年间追集丁夫，饿殍相枕，慧安乞食救济饥民。隋炀帝听说后诏见慧安，他又潜藏起来，到衡岳寺去做头陀。唐贞观年间，他往黄梅谒见禅宗五祖弘忍，之后遍历名山，并在少林寺住下。唐神龙二年（706年），他被招入宫庭，三年后辞归，不久圆寂。
9.同光（700～770）同光，山西人。弱冠出家，二十六岁受其足戒。他投会善寺普寂为师，后入少林寺，宣法开示二十余年，震动遐迩。安史之乱时，他似避祸于荆州。唐大历五年（770年）圆寂于少林寺。
10.法玩（715～790）法玩，山西人，俗姓张。十八岁时学道于普寂禅师，二十岁时受具足戒。普寂谢世后，法玩有时住在嵩山，有时去洛阳。唐贞观六年（790年）八月十三日，法玩于洛阳大敬爱寺圆寂。塔在少林寺西侧。
11.报恩（1058～1111）报恩，黎阳人，俗姓刘。他生于硕儒世家，从小就通治国方略，考试登第。他厌倦尘境，向朝庭辞官，出家为僧，朝庭准从了他的请求。于是他倾心于禅宗祖道，谒访诸多高僧。后来当朝丞相请他到少林寺讲经开示，不久他又应诏在少林寺住下，参禅说法。
12.教亨（1150～1219）教亨，号虚明，济州任城人，俗姓王。七岁在崇觉寺出家，十三岁受大戒，十五岁外出游方。他先后出入过五座道场：嵩山戒坛寺，韶山云门寺、郑州普照寺、林溪大觉寺和嵩山法王寺，后应请任少林寺住持。但不久他又引去，徜徉于嵩少间数年。金兴定三年（1219年）圆寂。
13.福裕（1260～1274）福裕，号雪庭，山西文水人，俗姓张。九岁入学，理解力极强，乡里人称他为“圣小儿”。出家后拜休林为师。元世祖慕其名德，命他住持少林寺。元宪宗时授他都僧省之符，命他总领天下僧众。他率众修复了嵩山一带因战乱毁坏的寺院，常被后人尊为少林寺中兴之祖。他于元至元十一年（1274年）圆寂。元皇庆元年（1312年）被追封为大司空、是府仪同三司并晋国公。
14.文才（1273～1352）文才，号淳拙，临汾人，俗姓姚。其父为居士。文才年岁稍长，即请学佛，父母从其志，送他出家剃度。他谒访少林寺的还源福遇，执侍多时，后又到龙门山读经三年，接着他隐居于终南山中。元泰定元年（1324年），被请出住持少林寺，但他于元天历二年（1329年）辞退。到了元至正五年（1345年），他又被请出再任少林寺住持，七年后圆寂。
15.邵元邵元，号古源，俗姓源。他原是日本国山阴道但州正法禅寺住持，元泰定四年（日本嘉历二年，1327年）来中国。先在福州，后到天台山、天目山、五台山遍访名僧，元天历二年（1329年）到嵩山少林，长住二祖庵达二十一年。他在少林寺任书记之职，曾为息庵义让行实碑撰文，并为菊庵法照塔撰文作书；他还曾作为全国百名高僧之一到京师宫里参与《大藏经》的翻译。邵元于元至正七年（1347年）返回日本。
16.紧那罗紧那罗，不知其来历。据《嵩书》记载：“至正初（1341年）忽有一僧至少林，蓬头裸背跣足，止著单裩，在厨中作务……至十一年辛卯（1351年）三月二十六日，潁州红巾贼率众突至少林，欲行劫掠，此僧乃持一火棍而出，变形数十丈，独立高峰，贼众望见，惊怖而遁。僧大叫曰：‘吾紧那罗王也！言讫遂没。人始知为菩萨化身也。”紧那罗在少林寺地位极重，寺中有紧那罗殿和其塑像，被尊为少林护伽蓝神。
了改，号凝然，嵩阳金店人，俗姓任。十四岁时拜少林寺提点训公为师，二十一岁时受戒。他曾在香山参访月印长老，后到天庆寺跟从松庭禅师。明洪武二十三年（1390年），了改任少林寺住持，三年后辞退，但仍驻少林寺，直到圆寂。
18.文载（1454～1523）文载，号月舟，北畿通州人，俗姓王。九岁入乡校，十三岁出家，拜白庵为师。二十岁时出游参学，三年后回还，闭门不出，读经习静。他又到少林寺参叩无方可从，三年后更遍参京城诸多禅师。明弘治年间，文载住白塔精舍内阅大藏经。明正德三年（1508年），祠部任命文载住持少林寺，前后十六年，直到圆寂。
19.悟须（？～1563）悟须，号匾囤，一号无空，禹州人，俗姓陈。年过二十后辞父母出家，入少林寺，以梵僧喇嘛为师。十数年后辞别师父，到中条山中修行三个月，接着在峨眉山巅住下。后来他又遍游全国，到京城，居吉禅庵中，印造了《大弥陀经》若干藏。不久他重回少林寺。嘉靖四十二年（1563年）他再次离开少林寺去峨眉山，行至州江中时坐地圆寂。悟须是明代著名的十八武僧之一，他的骨灰归回了少林寺，建塔埋葬。
20.正道（1547～1609）正道，字无言，洪都新建人，俗姓胡。他开始在上蓝寺出家，拜和尚为师。二十岁后跟从知休禅师，住在南岳净瓶崖。知休指点他参谒逊庵，后又指点他到少林寺参谒幻休常润。正道于明神宗万历二十二年（1594年）被祠部任命为少林寺住持，前后十七年，直到圆寂。
21.恒林（1865～1923）恒林，号云松，伊川宋寨人，俗姓宋。光绪初年入少林寺为僧，民国元年被任命为登封县僧会司僧会，后又被推选为少林保卫团团总。任职后数年间购置枪枝，训练武装，打击土匪，备尝辛苦。民国十二年（1923年）秋，积劳致疾，卒于职。
22.行正（1914～1987）行正，字愿安，登封城关刘庄人，俗姓李。1920年在少林寺出家，1932年在九华山东崖寺受戒。后任河南省佛教协会理事，少林寺住持。文革期间，行正采取转移地点、埋藏地下等方法，保存了一批少林寺文物。1986年，他被正式任命为少林寺方丈，结束了自清康熙以来少林寺无方丈的历史。他于1987年圆寂。
