ITO(Indium Tin Oxide)玻璃简介
在普通玻璃的一个表面镀上一层氧化铟锡的导电膜，就形成了LCD常用的氧化铟锡玻璃，通常简称为ITO玻璃。
PS:特点：不仅要求导电性能好，而且还要具有玻璃一样高的透明度
ITO玻璃的基本结构
基板:
常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm
基板的主要生产厂家有：板硝子、旭硝子、洛玻
根据材料的不同,通常分为钠钙玻璃和硼硅玻璃两种;LCD行业中较常用的为钠钙型玻璃.
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优点 |
缺点 | |
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钠钙型玻璃 |
成本低 |
含有钠、钾等离子,易产生渗透,影响产品性能 |
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硼硅型玻璃 |
玻璃硬度高,透过率好 |
成本较高 |
Si02层：
（1）Si02层的作用:主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中,影响ITO层的导电能力.
（2）SiO2层的膜厚: 标准膜厚一般为20-30nm
ITO(Indium Tin Oxid)层:为氧化铟锡的透明导电层,其中I表示In2O3，T表示SnO2,一般Sn（即Tin)的含量约为10%。随着ITO层厚度的增加,ITO层的厚度逐渐减小.
-----应改为“随着ITO电阻值的增加,ITO层的厚度逐渐减小。”
三、ITO玻璃的分类
根据基板玻璃表面状态的不同，通常分为以下三种类型：
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类型 |
说明 | |
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TN |
未抛光型 |
直接在玻璃的浮法面进行镀膜 |
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HTN |
简单抛光型/TN精选玻璃 |
将玻璃的浮法面进行简单的抛光后,在抛光面进行镀膜 |
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STN |
超抛光型 |
将玻璃的浮法面进行精细的抛光后,在抛光面进行镀膜 |
四、ITO玻璃的生产工艺流程
ITO玻璃的生产工艺流程主要分为以下三个步骤：
注：TN型玻璃不需要抛光。生产工艺流程更简单。
ITO玻璃简要生产工艺流程如下
五、ITO玻璃的评价参数
5.1透过率：
在波长为550nm的光波照射下，具有SI02阻档层玻璃的透过率不小于80%，其主要取决于玻璃材料、ITO厚度和折射率。
透过率定义：透过玻璃的光通量T2与入射光通量T1之比的百分率
Tt=T2/T1X100%。
5.2方块电阻:如图
d为膜厚，I为电流，L1为膜厚在电流方向上的长度，L2为膜层在垂直电流方向的长度，ρ为导电膜的体电阻率。ρ和d可以认为是不变的定值，当L1=L2时，为正方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率为定值ρ/ d，这就是方块电阻的定义，即R□= ρ/ d
5.3平整度:
平整度可用h/1表示，意思为在长度为L的范围内，表面最高点与最低点的差值为h。
ITO玻璃基板平整度参数包括：
1、玻璃表面粗糙度；
2、基板表面波纹度；
3、基板翘曲度；
4、基板垂直度；
5、ITO膜表面粗糙度；
6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。
5.3.2基板翘曲度:用h/L表示(如图)
即翘曲的高度与翘起边的长度之比
其中要求如下:
—— 厚度≥0.7mm的基片玻璃， 翘曲度（h/L）≤0.1%。
── 厚度≤0.55mm的基片玻璃，翘曲度（h/L）≤0.15%。
—— 不允许有S形翘曲
5.3.3基板垂直度:用a/L表示(如图)
用来描述玻璃基板四条边互相垂直的程度
5.4化学稳定性:
ITO镀膜层的耐化学性能应符合表2中技术要求。
a) 耐碱性
镀层在温度为60±2℃, 浓度为10%的氢氧化钠(分析纯)溶液中浸泡5分钟, ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。
b) 耐酸性
在25±2℃, 6%盐酸(分析纯)溶液中浸泡2分钟, ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。
c) 耐溶剂性能
将镀膜玻璃放入丙酮(分析纯)、无水乙醇(分析纯) 中浸泡5分钟后，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。
5.5热稳定性:
在空气中经30分钟300±5℃（触摸屏用ITO玻璃是在200±5℃）高温后，ITO膜的方阻的变化率小于300%
5.6附着力:
用3M胶带粘在玻璃表面迅速撕开,ITO层无明显开裂现象
六、ITO膜面的判定
相关定义:浮法方向:在基板玻璃制造过程中,液态玻璃流动的方向.
ITO膜面主要判定方法:
(1)将万用表打至欧姆档,用探针分别测试两个点,如果显示不为”1”,则所测试面为ITO膜面;
(2)用方块电阻测试仪测试面电阻,如果显示电阻值无穷大,测所测面为非ITO膜面
(3)通过大角识别:以16×14英寸的玻璃为例
七、ITO玻璃使用常见问题
主要注意事项:
1、ITO玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中，温度28度以下，湿度不大于70%RH为宜；
2、ITO玻璃的贮存期不应超过半年，包装打开后应尽快用完，如不能尽快用完，应重新密封；
3、拿取玻璃时应使用无尘手套，应用双手“夹持”玻璃的两边，严禁裸手接触玻璃表面；
4、严禁一支手拿两片以上的玻璃
5、在拿取玻璃时应轻拿轻放，保持玻璃的垂直放置，严禁水平叠放；
6、严禁玻璃间的直接接触
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