电子元器件、集成电路、芯片等电子行业生产中,几乎每道工序都需要用到纯水进行清洗作业,工件与水直接接触,一方面使加工过程中的微量玷污得到清洗,另一方面又需要避免纯水中的微量杂质对工件形成二次污染,因此,对电子行业生产加工中使用的纯水品质提出了更高要求,“电子级超纯水”这一概念应运而生,并制定了相关标准。
电子级超纯水制备传统工艺流程
在超纯水制备精制抛光工艺段,需要用到处理精度更高、纯净级别更高、粒径均一的高品质抛光树脂,实现对水的精制。蓝晓科技采用填补国内技术空白的“喷射造粒”技术,采用国际领先的树脂生产线系统,生产出了均一系数<1.1的高纯度、高转型均粒H型阳离子交换树脂和OH型阴离子交换树脂,经一定比例预混后,用于超纯水制备系统末端(精制抛光工艺段),进行精制处理。
“喷射造粒”工艺与传统工艺对比
蓝晓科技精制抛光树脂牌号及进、出水指标
精制抛光树脂牌号 |
进水指标要求 |
出水指标 |
Seplite® Monojet™ 6150 |
电阻率>16MΩ·CM |
电阻率>18.1MΩ·CM |
TOC<20ppb |
TOC<2ppb | |
Si<5ppb |
Si<1ppb | |
Seplite® Monojet™ 6040 |
电阻率>17MΩ·CM |
电阻率>18.2MΩ·CM |
TOC<15ppb |
TOC<2ppb | |
Si<2ppb |
Si<0.5ppb |
蓝晓科技精制抛光树脂的优势特点
(1)拥有更好的流体动力学特性,系统运行压降更少。
蓝晓科技抛光树脂采用粒径均匀的凝胶阴、阳树脂,均一系数<1.1,装填时避免了小颗粒树脂对空隙的填充,增大了有效空间,流体阻力显著减小。
(2)拥有更高的交换速度与工作交换容量。
在相同的处理工况下,均粒树脂能够提供更大的树脂表面积与最小的离子扩散路径,显著提高树脂的交换速度,提升工作交换容量。
(3)更出色的机械强度,运行中树脂破碎损耗更少。
(4)更高纯净度,杂质离子含量极低。
(5)极高的H型/OH型转化率,H型率>99%,OH型率>96%。
(6)供货周期短,能更好满足客户需求。
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