乙硅烷，化学式为Si2H6，一种无机化合物，常温常压下外观为无色气体状，有刺激性气味。乙硅烷性质与硅烷类似，但稳定性较差，易分解。乙硅烷可溶于苯、二硫化碳等溶剂，易燃烧，在空气中浓度高于0.2%时可自燃，分解为硅烷与氢气，与氯仿、四氯化碳混合可激烈反应，与氯气、卤素气体、六氟化硫等接触会爆炸。乙硅烷是一种重要的化工原料以及电子级气体。
在化工领域，乙硅烷可用来制备氢气、高纯硅等产品，以及用于石墨烯生长过程中。在电子领域，乙硅烷可应用于非晶硅生长、外延生长、化学气相沉积、扩散、离子注入等工艺中，广泛应用在半导体、集成电路、太阳能电池等领域。例如应用在PECVD、LPCVD工艺中，利用乙硅烷在非晶硅片上沉积薄膜，具有工作温度要求低、成膜速度快的优点，且膜质量优异；在离子注入工艺中，乙硅烷可用作高效离子源。因此乙硅烷在芯片制造、太阳能电池领域具有巨大市场潜力。
根据新思界产业研究中心发布的《2022-2027年中国乙硅烷行业市场供需现状及发展趋势预测报告》显示，半导体、光伏产业发展拉动乙硅烷市场需求不断释放。2021年，全球乙硅烷市场规模约为2.1亿美元；预计2021-2027年，全球乙硅烷市场将以12.3%左右的年均复合增速增长，到2027年市场规模将达到4.2亿美元。在全球范围内，中国乙硅烷需求增长更为快速，2021年，中国乙硅烷市场规模在全球总量中的占比为22.1%，预计到2027年将提升至23.4%。
乙硅烷制备方法主要有硅化镁法、六氯乙硅烷还原法、甲硅烷放电法等，上游原材料主要包括硅化镁、氯化氢、六氯乙硅烷、氢化铝锂、甲硅烷、液氮等。现阶段在全球市场中，日本、北美地区乙硅烷产量占比大，但中国乙硅烷产能正在不断扩张，预计未来5年内，中国乙硅烷产量占比将持续攀升，国内市场自给能力将不断增强。
新思界行业分析人士表示，在海外市场中，乙硅烷生产商主要有日本三井化学、韩国SK Materials、法国液化空气集团、美国Voltaix（被法国液化空气集团收购）、美国REC Silicon等。其中，三井化学在乙硅烷领域起步较早。在我国市场中，乙硅烷生产商主要有北方特气、湖州迅鼎、博纯材料、安徽亚格盛、全椒亚格泰、华特气体以及台湾特品化学等。其中，北方特气可生产5N级别乙硅烷产品。
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