UV光氧催化氧化设备利用人工紫外线光波作为能源，配合活性强、反应效率高的纳米TiO2催化剂，可有效净化废臭气体。该设备通过光催化氧化，能将各种有机废气如醛类、苯类、氨类、氮氧化物、硫化物以及其他VOC类有机物及无机物还原成二氧化碳、水及其他无毒无害物质。同时还可以实现废气除臭和细菌病毒的去除。
UV光氧催化氧化设备具有以下优点：
（1）无需添加任何物质：只需要设置相应的排风管道和排风动力，使恶臭气体通过本设备进行脱臭分解净化，无需添加任何物质参与化学反应。
（2）适应性强：可适应高浓度，大气量，不同恶臭气体物质的脱臭净化处理，可每天24小时连续工作，运行稳定可靠。
（3）运行成本低：只需作定期检查，能耗低，风阻极低＜50pa，可节约大量排风动力。
UV光氧催化处理效果容易受到以下因素影响：
1.光源
真空紫外灯一般选用185nm和254nm这两个波段。真空紫外设备的进口风速影响紫外灯的灯表温度，灯表温度与紫外灯的发光效率直接相关，当灯表温度高于一定值时，对其发光效率有直接影响。对于许多有机废气来说，臭氧协同真空紫外光对其具有降解作用。254nm紫外光可以促进臭氧产生氧气自由基，进而氧化废气分子，臭氧与空气中的水蒸气在真空紫外条件下可产生羟基自由基,羟基自由基又可氧化甲苯等废气。
2.废气浓度
喷涂车间、印刷、电子、制药、食品等行业产生的低浓度有机废气都是UV光氧催化氧化技术处理VOCs的适用范围。目前，由于真空紫外线强度有限，185nm和254nm的真空紫外灯在单位时间内的光解能量不足，效率随之降低。高浓度有机气体的问题不能仅仅通过增加灯管的数量来解决，紫外光解技术不适用于中高浓度VOCs气体。
3.相对湿度
在一定的湿度条件下，氧气吸收了大部分185nm的紫外线，但随着湿度的进一步增加，水蒸气和氧气竞相吸收了185nm波长的紫外线，水蒸气吸收了更多的185nm的紫外线，产生了更多的羟基自由基。水蒸气与活性氧反应产生羟基自由基。与臭氧和活性氧相比，羟基自由基具有更强的氧化作用，因此光解速度明显加快，有效提高了单位时间内的废气去除率。光解效率提高只维持在相对湿度在30%-65%以内，当相对湿度在70%以上后光解效率会逐渐降低。
4.风速和绝对湿度差
风速越大，水蒸气进出口的绝对湿度差越小，即风速越大，产生的羟基自由基量的绝对值就越小。因此，在风速较大的工作条件下，羟基自由基对有机物降解的作用小。在风速较小的工作条件下，羟基自由基对挥发性有机化合物作用大。在低浓度下，延长停留时间并不能有效提高废气去除效率。
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