在GB/T 25915.5/1S0 14644-5 中要求洁净室内固定设备的安裝，应根据洁净室的设计和作用,下面具体重点介绍下一下情况1.设备的安装方法：理想的方法是在设备安装期关闭洁净室，并且有能满足设备运进所福览度的门或在瑞板上预留通 道，以让新设备通过并进入洁净室，为防止安装期附近的洁净室受到污染、应采取防护措施，以确保洁净室仍符合其洁净度要求所需的后续的工作。2.若设各安装期间洁净室的工作不能停，或有结构需要拆除，必须将正在运行的洁净室与工作区进行有效隔离：可采用临时隔离墙或隔断围挡。为不妨碍安裝工作，没备周围应的有足够的空间。若条件许可，可通过服务通道或其他非关键区 进人隔离区：如不可能，应釆取措施尽量降低安装工作所产生的污染影响。该隔离区应维持等压或负压。隔高区内应切断洁净送风，避免对周围的洁净室形成正压。如果只有通过相邻的洁净室才能进人隔离区，则应采用粘垫，去除鞋上携带的污物。3.进人隔高区后，可使用一次性靴子或套鞋及连体工作服以免污染洁净服。离开隔离区前应脱下这些一次性物品。应制定设备安装过程对隔离区周围区域监测的方法并确定监測频度，确保检测到可能泄漏至相邻洁净室的任何污染，隔离措施设置后可架设各种所需的公共服务设施，如电、水、气体、真空、压缩空气和废水管道，应注意尽可能控制并隔离作业产生的烟尘和渣屑，避免因疏忽扩散至周围的洁净室，还应便于拆除隔离屏障前进行有效的清洁。公用服务设施符合使用要求后，应按规定的清洁规程对整个隔离区清洁去污。包括全部的墙、（固定的和可移动的）设备及地面在内的所有表面，都要进行真空清洁、擦拭和拖擦，并应特别注意清洁设备护板后面及设备下面的区城。
4.依据洁净室和安装设备实际状况可进行设备性能的初步测试，但后面的验收检测应在完全具备洁净环境条件时进行。根据安装现场状况可开始小心地拆除隔离墙；如已关闭洁净送风，则将其重新启动；应慎重选定进行这阶段工作的时间，以尽量减少对洁净室正常工作的千扰。此时可能需要测量空气悬浮粒子浓度是否满足规定要求5. 设备内部及关键的工艺腔室的清洁与准备工作，应在正常的洁净室条件下进行。与产品接触或与产品输送有关的所有内腔室及所有表面都要进行擦拭，使其达到要求的洁净程度。设备的清洁顺序应是从顶到底，如有粒子扩散，较大的粒子因重力将落到设备的底部或地面上。清洁设备的外表面，顺序也是从顶到底。必要时，应对产品或生产工艺要求属于关键性的区城，进行表面粒子检测.6.鉴于洁净室的特点，尤其是高科技洁净室大面积、高投人、高产出的特点和十分严格的洁净度要求，在这类洁净厂房内生产工艺设备的安装更加具有一般洁净厂房没有的特定要求。为此，在2015 年发布的国家标准《洁净厂房施工及质量验收规范》（GIB 51110）中对洁净厂房内生产工艺设备的安装作了一些规定，主要有以下内容。A.为了防止在生产工艺设备的安装过程中给已进行“空态〞验收的洁净室（区）带来污染甚至损坏，其设备的安装过程不得有超范围的振动、倾斜，不得划份及污染设备表面。B.为使洁净室（区，内生产工艺设备的安装做到有序和无坐或少坐作业，并能遵循洁净厂房内的洁净生产管理制度，做到在生产设备安装过程保护好已经按“空态”验收的各项“成品”“半成品”，安装过程所必须使用的材料、机具等不得散发或可能产生（长期地包括在洁净室正常运行中）对所生产产品有害的污染物，应采用无尘、无锈、无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料。C.应以洁净、无尘的板材、薄膜等材料保护洁净室（区）的建筑装饰表面；设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作，如无要求时应采用不锈钢板或塑料板。独立基础和地板加固用碳钢型材应经防腐处理，表面应平整、光滑；用于嵌缝的弹性密封材D.材料应注明成分、品种、出厂日期、储存有效期和施工方法说明书及产品合格证书洁净室（区）使用的机具不得搬至非洁净室（区）使用，非洁净室（区）使用的机具不得搬至洁净室（区）使用，洁净区使用的机具应做到机具外露部分不产尘或采取防止尘埃污染环境的措施，常用机具在搬人洁净区前应在气闸室进行清洁处理，应达到无油、无垢、无尘、无锈的要求，并应经检查合格贴上“洁净”或“洁净区专用”标识后搬人。
E.洁净室（区）内的生产工艺设备需安装在活动地板等“特定地面”上的设备基础一般应设置在下技术夹层地坪上或泥凝士多孔板上；安装基础所需拆除的活动地板，经手持电锯切割后的结构应子加固，其承载能力不应低于原承载能力。当应用钢制框架结构的独立基础时，应选用镀锌材料或不锈钢材料制作，外露表面应平整、光滑。F.洁净室（区）内生产工艺设备的安装过程需在墙板、吊顶和活动地板开洞时，其开洞作业不得划份或污染需保留的墙板、吊 顶板表面，活动地板开口后不能及时安装基础时，应设安全护栏并设危险标识；生产设备安装后，洞口四周间隙应进行密封处理，并应做到设备与密封组件为柔性接触，密封组件与壁板的连接应紧密、牢固；工作间一侧的密封面应平整、光滑。
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