智慧厂务管理系统（简要了解厂务系统）

厂务系统功能：

水系统在制程中的功能：

气体系统在制程中的功能：

化学系统在制程中的功能：

真空系统在制程中的功能：

排气/排水系统在制程中的功能：

气体系统使用材质：

化学系统使用材质：

真空系统使用材质：

排气系统使用材质：

厂务系统流程：

制程冷却水系统简略流程：

冰水系统简略流程：

纯水系统简略流程：

自来水/回收水系统简略流程：

CDA/GN2/PN2系统简略流程：

其他大宗气体/特气系统简略流程：

高真空/排气系统简略流程：

真空系统简略流程：

英文缩写对照：

本文来源于互联网，作者不详。暖通南社整理编辑于2017年3月1日。

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