扫描电镜是研究领域最常用的分析表征手段，这里小编为大家详细整理了JSM-6700F扫描电子显微镜操作使用流程。各类扫描电镜的操作方法都是大同小异的，看完这个其他类型的扫描电镜的操作相信也不成问题。希望可以帮到大家。（微信关注“研酷综合材料科研服务平台” 回复“扫描电镜教程”，即可获得更详尽版教程）
1．开机：
确认设备和环境状态正常后，按操作台上的“OPN POWER”的右钮开机
开启操控面板电源（绿灯亮为开启）
开计算机
双击图中指针处（JEOL），进入SEM操作界面
2．放样：
检查工作状态，确认主机上WD（work distance）为8mm，EXCH灯亮，TILT为0；
按VENT键，灯闪烁，停闪后（VENT灯一直亮）打开样品室门，把样品架放在样品台坐上，关上样品室门；此处需注意胶圈是否密封
按EVAC键，灯闪烁，停闪后将样品送入样品室内，这时要确认HLDR灯亮；
抽真空10分钟左右，确认样品室真空度小于2×10-4Pa后方可加电压。
加高压(点击图中箭头处，HT由蓝变绿)
3 成像调节（二次电子像）
按主机上的GUN VAVLECLOSE键，此灯（图片中箭头处）熄灭；
待工作电流为10.0μA时，电子束开始扫描，操作成像；
选用LEI成像，同时用操控器上的LOW MAG进行粗调；
用样品台上的WD轴粗调焦，出现图象后再逐步放大，最后用操控器上的FOCUC细聚焦，此步骤过程中换用SEI时，需要关闭操控器上的LOWMAG，按下按钮关闭即可，LOW MAG灯灭；
为了调焦方便，可以按操控器上的RDC IMAG键选用小窗口
出现小窗口
此时调节需要注意的问题：
当放大倍数高于5000倍时应注意图象的象散，检测的方法是把图象倍率再增加，用聚焦钮在焦点附近调焦，如果图象有“涂污”的痕迹，而且在焦点的欠焦一侧和过焦一侧涂污方向垂直，就表示有象散存在，用操控器上的消象散X、Y纽使涂污消失，此时图象清晰度会明显提高，调焦和清象散应在比照相所需的放大倍数高的放大倍数下进行，至少高出1.5倍。
按操控器上的ACB钮（手指处）即可自动调整亮度对比度
进行调焦成像时，先选用小窗口调节，在小窗口调节时，按下操控器上的Fine View进行查看，满意后，将其调到大窗口原先倍数退出小窗口（再按一次RDC IMAGE即可），换成全屏成像。
选择满意的成像效果后，重新按下Fine View，按下操控器上的Freeze，在电脑界面上保存图片
单击Directory选择保存路径，而后点击Export输出和保存
样品二次电子像表征完成。
